网站介绍:黄光工艺介绍-20121230.pdf,黄光工艺介绍 黄光工艺介绍 Profile of Photo process Profile of Photo process 2012-12-29 1、黄光制程定义-核心技术及名称的来源 1、黄光制程定义-核心技术及名称的来源 黄光工艺使用的技术 黄光使用的技术为微影 (Lithography) 技术,使用的材料为感光材料,这 种材料称之为光阻(PR,photo resistance)。PR具有独特的特性,在UV光的作 用下,会发生化学变化,变成易容与酸或者碱的新物质。 微影 (Lithogr
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