MEMS压力传感器工作原理_深圳沧正传感仪器有限公司

网站介绍：目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的。