网站介绍:硅压阻压力传感器是采用硅压阻原理,利用单晶硅良好的机械性能和电学性能,通过扩散或离子注入工艺将对压力敏感的电阻注入到感压薄膜中,实现感压元件和转换电路的集成而制作
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