高真空干泵螺旋级抽气性能的数值计算模型_真空技术网

网站介绍：本文根据单螺旋转子的特点，建立了单螺旋转子的几何模型，并采用DSMC方法分析其抽气过程，模拟分子流态下气体分子在泵内的运动情况。