压力传感器特性实验-压力传感器特性实验 压力传感器是利用应变电阻效应,将力学量转换成易于测量的电压量的器件。压力传感器是最基本的传感器之一,主...
2024-02-05 04:06 阅读 阅读全文硅电容压力传感器是以硅材料为基础,采用电容原理,即利用电容极间距变化将压力转换为电容变化,由MEMS工艺制作的传感器。硅电容压力传感器特性评价如下:...
2023-11-14 14:55 阅读 阅读全文硅电容压力传感器是以硅材料为基础,采用电容原理,即利用电容极间距变化将压力转换为电容变化,由MEMS工艺制作的传感器。硅电容压力传感器特性评价如下:...
2023-11-21 17:12 阅读 阅读全文进气压力传感器的输出特性:电喷发动机中采用进气压力传感器来检测进气量的称为D型喷射系统(速度密度型)。进气压力传感器检测进气量不是像进气流量传感器那样直接检测,而是采...
2024-01-15 15:30 阅读 阅读全文硅压阻压力传感器是采用硅压阻原理,利用单晶硅良好的机械性能和电学性能,通过扩散或离子注入工艺将对压力敏感的电阻注入到感压薄膜中,实现感压元件和转换电路的集成而制作...
2023-11-14 13:03 阅读 阅读全文硅压阻压力传感器是采用硅压阻原理,利用单晶硅良好的机械性能和电学性能,通过扩散或离子注入工艺将对压力敏感的电阻注入到感压薄膜中,实现感压元件和转换电路的集成而制作...
2023-11-21 15:28 阅读 阅读全文